微米级别薄膜材料进行厚度测量，用普通方法测量是相对困难的。利用金相显微镜及其配合的软件测量系统，相对比较圆满的完成了此次测量任务。【测试原理】采用金相显微镜检测横断面，直接以标尺以辅助测量金属覆盖层、氧化膜层的局部厚度的方法。【参考标准】GB/T6462-2005【测试仪器】金相显微镜及金相测量软件 【测试范围】一般样品厚度检测大于1um，才能保证测量结果在误差范围之内；厚度越大，误差越小。 【测试方法的优缺点】这种测试方法的优点在于适用的镀层范围内测试结果特别准确，误差非常小，可以选择其作为争议的仲裁决定方法；这种方法的缺点在于制备镀层测厚试样的过程耗时费力。