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产品名称：场发射扫描电子显微镜

产品型号：Sigma 560

产品品牌：Zeiss 蔡司

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产品详情

Sigma 560 场发射扫描电子显微镜

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对实体样品进行高效分析

对实体样品进行高效分析

EDS：通用、高速，助您深入研究

Sigma 560的先进EDS几何学设计可提高分析效率。两个180°径向相对的EDS端口确保了即使在低电压小束流条件下，也能实现高通量无阴影元素分布成像。
样品仓的附加EBSD和WDS端口不局限于满足EDS分析。
不导电样品也可以使用全新的NanoVP lite模式进行分析，并能获得更强的信号和更高的衬度。
全新的aBSD4探测器可轻松实现表面形貌复杂样品的图像采集。

技术

Gemini光学镜筒截面示意图，包含电子束推进器、Inlens探测器和Gemini物镜。

Gemini 1的光学系统

Gemini 1的光学系统由三个元件组成：物镜、电子束推进器和具有Inlens探测原理的探测器。其中，物镜的设计将静电场与磁场的作用力相结合，大大优化光学性能的同时，降低了样品所处的场影响。如此也可实现对磁性材料等具有挑战性的样品的高品质成像。Inlens探测原理通过对二次电子（SE）和/或背散射电子（BSE）的探测来确保高效的信号检测，同时大幅缩短获取图像的时间。电子束推进器保证了小尺寸的电子束斑和高信噪比。

Sigma的Gemini 1光学镜筒与探测器。1 Inlens探测器，SE或Duo。2 ETSE探测器、3 VPSE、4 C2D、5 aSTEM、6/7 高级EDS探测和不同的背散射探测器，如aBSD1。 — Gemini 1光学镜筒与探测器截面示意图

灵活探测

Sigma配备了一系列不同的探测器，通过新探测技术对您的样品进行表征。使用ETSE和Inlens探测器的高真空模式可获取表面形貌的高分辨率信息。使用VPSE或C2D探测器的可变压力模式可获得清晰图像。使用aSTEM探测器可进行高分辨率透射电子成像。采用不同的可选BSE探测器（如aBSD探测器）可以深入研究样品的成分和表面形貌。

标准VP |模式，气体分布（粉红色），电子束裙边（绿色）。

NanoVP lite模式，气体分布

标准VP（左）和NanoVP lite（右）模式，气体分布（粉红色），电子束裙边（绿色）。

NanoVP lite模式

采用NanoVP lite模式进行分析和成像，在低电压条件下可获得更高的图像质量，更快速地获取更准确的分析数据。

●　在NanoVP lite模式下，裙边效应降低且入射束流的路径长度（BGPL）减小。裙边减小会提高SE和BSE成像的信噪比。

●　带有五段圆弧的伸缩式aBSD可提供出色的材料成分衬度：在NanoVP lite工作过程中，该探测器配备了安装在极靴下方的束流套管，其可提供高通量及低电压的成分和表面形貌高衬度成像，适用于可变压力和高真空条件。

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应用

探索聚合物、纤维、二硫化钼等材料样品的图像。

对聚苯乙烯样品表面进行断裂，以了解聚合物界面处的裂纹形成和附着力 — 对断裂的聚苯乙烯样品表面进行成像，以了解聚合物界面处的裂纹形成和附着力。 Sigma 560， 3 kV，60 Pa样品仓压力下的NanoVP lite模式，C2D G2。

用于药物传递的MSC胶囊（中空介孔二氧化硅）。 — 由德国科隆大学无机化学研究所的V. Brune博士提供。
用于药物传递的MSC胶囊（中空介孔二氧化硅）。背散射成像显示了二氧化硅纳米胶囊中的氧化铁颗粒。Sigma 560，HDBSD，5 kV。

以低电压成像的碳纳米管（CNT）。 — 以低电压成像的碳纳米管（CNT）。Sigma 560，500 V，Inlens SE探测器。

氧化铝（Al2O3）球体，在500 V表面信息敏感条件下高分辨率成像，可以看到烧结颗粒的表面梯度。 — 氧化铝（Al₂O₃）球体。在500 V表面信息敏感条件下高分辨率成像，可以看到烧结颗粒的表面梯度，某些梯度之间的距离仅为3 nm。Sigma 560，500 V，Inlens SE。

电池正极铝箔颗粒表面。 — 电池正极铝箔颗粒表面。利用材料成分衬度识别Li-NMC上的粘合剂（较暗的材料），使用aBSD成像。

利用化学气相沉积（CVD）技术在Si/SiO2基材上生长的MoS2 2D晶体：RISE图像呈现出MoS2晶体的褶皱和重叠部分（绿色）、多层（蓝色）及单层（红色）结构，图像宽度32 µm。 — 利用化学气相沉积（CVD）技术在Si/SiO₂基材上生长的MoS₂ 2D晶体：RISE图像呈现出MoS₂晶体的褶皱和重叠部分（绿色）、多层（蓝色）及单层（红色）结构，图像宽度32 µm。

生命科学

了解更多有关原生动物或真菌的微观和纳米结构信息，获取切面样品或薄片上的超微结构。

在1 kV高真空条件下，使用ETSE探测器轻松完成放射虫精细镂空结构成像，图像宽度183 µm。

在1 kV高真空条件下对蘑菇真菌孢子成像。使用Sigma 500可以在低电压下对这些精巧脆弱的结构轻松成像。

Tricellaria inopinata — 由挪威卑尔根大学萨斯海洋分子生物学中心的Anna Seybold和Harald Hausen提供。固着海洋生物苔藓虫Tricellaria inopinata的超微结构，观察视野为30 μm。使用蔡司Sigma 560采集，Sense BSD探测器，1 kV，30 pA。

使用连续切面成像的三维大脑超微结构 — 由UCL眼科研究所的Peter Munro博士和Hannah Armer提供。
使用连续切面成像技术自动采集的3D大脑超微结构。星形细胞（青色）被识别和分割。

地球科学与自然资源

探索岩石、矿石和金属。

在20 kV下使用YAG-BSD成像的岩石样品，由于YAG晶体的光传导性能可高速采集图像。

硫化镍矿石。矿物EDS面分布图，图像宽度3.1 mm。样品由英国莱彻斯特大学提供。

铁矿石矿物分析：铁矿石矿物的拉曼光谱分析，扫描电子显微镜图像和拉曼图叠加。（赤铁矿为红色、蓝色、绿色、橙色和粉红色；针铁矿为淡蓝色）。

铁矿石矿物分析，拉曼光谱：赤铁矿光谱的差异表征了其晶体取向的不同。（赤铁矿为红色、蓝色、绿色、橙色和粉红色；针铁矿为淡蓝色）。

含石榴石片麻岩的定量EDS主要元素热图（Ca），突出了关键矿物中的地球化学分区。

工业应用

了解如何对金属、合金和粉末进行研究。

非导电二氧化钛纳米颗粒 — 在40 Pa可变压力模式下，使用C2D探测器轻松完成对颜料和遮光剂用非导电二氧化钛颗粒的成像，图像宽度10 µm。

在20 kV的暗场模式下，使用aSTEM探测器对25 – 50 nm氧化铁颗粒成像。

在1 kV下使用aBSD对超导合金样品成像。 — 在1 kV下使用aBSD对超导合金样品成像。（比例尺20 µm）

氧化锌枝晶 — 氧化锌枝晶：检测储能系统电极的形态变化。Sigma，ETSE，5 kV。