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产品名称:场发射扫描电子显微镜

产品型号:GeminiSEM 460

产品品牌:ZEISS 蔡司

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GeminiSEM 460 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)

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FE-SEM满足亚纳米成像、分析和样品灵活性的高要求

蔡司GeminiSEM可助您轻松实现亚纳米级分辨率的成像。出色的成像和分析技术更使FE-SEM(场发射扫描电子显微镜)如虎添翼。采用创新的电子光学系统和全新样品仓设计,不仅操作更加简便,用途更加灵活多样,还可为您带来更高的图像质量。无需水浸物镜即可拍摄低于1 kV的亚纳米级图像。

 

蔡司Gemini电子光学系统的三种设计:

● GeminiSEM 360 — 分析测试平台的理想选择

● GeminiSEM 460 — 实现高效分析

● GeminiSEM 560 — 表面成像的新标准

GeminiSEM 460

可从低电流-低电压工作条件无缝切换到高电流-高电压工作条件。通过原位加热和拉伸香草视频APP污下载来拓展您的应用范围。充分发挥其各项优势,如共面式EDS/EBSD配置、EDS数据的无阴影面分布和快速收集4000点/秒的EBSD图。

 
金属样品的EBSD图

兼顾高分辨率和高电流

★ GeminiSEM 460专为应对要求严苛的分析任务设计,可实现高效分析和自动化的工作流程。

★ 快速执行高分辨率成像和分析:使用Gemini 2镜筒,从低束流-低电压工作条件无缝切换到高束流-高电压工作条件(或反之)。

★ 同时,可使用多个探测器对任意样品进行全方位表征。

★ 利用多功能样品仓进行高效分析,还可选择合适的分析探测器。

★ 在全新的VP模式下,调高电流,获得计数率达4000点/秒的EBSD成像。

★ 通过两个几何对称的EDS端口和共面式EDS/EBSD配置,可以检测化学组分和晶体取向,实现高速、无阴影的EDS/EBSD成像。

定制自动化工作流

定制自动化工作流

★ 由于拥有如此强大的分析能力,工作流程的自动化便显得至关重要。使用蔡司的Python脚本API,可创建并配置属于您的自动化实验流程。

★ 根据您的个性化需求修改实验流程并量身定制想要的效果。

★ 充分利用STEM断层扫描成像功能:将自动倾斜和旋转功能与特征跟踪功能有效结合,在将所有对齐的图像发送至专属三维重构软件后,可构建具有纳米级分辨率的三维断层成像。

★ 若需要测试材料承受极限,提供执行自动化原位加热和拉伸实验的实验平台,在实验过程中,可自动为您呈现材料在加热和拉伸下的情况,并实时绘制应力应变曲线。

为您带来更多可能性

为您带来更多可能性

★ 以Gemini 2镜筒的设计为基础,在用于材料和生命科学领域时,超高可调电流密度条件下的分析能力显著提升,即使在低电压条件下亦是如此。

★ 可充分利用各种配件来升级系统。例如,不仅可以加入分析设备,还可使用原位实验设备、冷冻成像和纳米探针设备对多功能样品仓进行配置。存储器可让您连接到香草视频APP污下载中不同设备采集的数据,从而能够集中管理项目。

★ 在使用设备期间,可随时轻松装配和升级各种配置。

★ 所有GeminiSEM均加入了蔡司ZEN core生态系统,通过这项功能,您可访问ZEN Connect、ZEN Intellesis及ZEN的分析模块,帮助您生成报告和实现GxP工作流程。

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Gemini电子光学系统背后的科技

 

Gemini电子光学系统背后的科技

● Gemini 1

基本原理简介

FE-SEM专为高分辨率成像设计,性能的一个关键是其电子光学镜筒。Gemini是为实现任何样品的出色分辨率而特别设计的(尤其在低加速电压下),可实现完整高效的探测,且操作简单。
Gemini 1光学镜筒包含电子束推进器、Inlens探测器和Gemini物镜。

Gemini电子光学系统有以下三个主要特征:

✔ Gemini物镜的设计结合了静电场与电磁场,在大幅提升光学性能的同时大大降低了对样品的影响。如此也可实现对磁性材料等具有挑战性的样品的高品质成像。 ✔ Gemini电子束推进器技术是一种集成光束减速器,确保了小尺寸的电子束斑和高信噪比。 ✔ Gemini Inlens的探测设计原理通过同时探测二次电子(SE)和背散射电子(BSE),大幅缩短到图像的时间,确保了高效的信号探测。
火石颗粒,左:Inlens EsB,右:Inlens SE图像。

针对您的应用,可以有以下优势:

✔ SEM电子束对准可长期保持稳定,改变探针电流和加速电压对系统几乎没有影响。 ✔ 几乎无磁场泄露的光学系统可实现无失真高分辨率成像。 ✔ 使用Inlens SE探测器,可通过真正的表面敏感性SE 1电子技术生成图像,从而只获得样品最顶层的信息。 ✔ 使用Inlens EsB探测器的探测设计理念,在非常低的电压下获得真实的材料成分衬度。    

● Gemini 2

充分利用快速分析

任何样品的全面表征都需要高性能的成像和分析,另外,如今的用户都希望设备易于设置和操作。Gemini 2光学系统能满足这些需求。
Gemini技术。Gemini 2电子光学镜筒截面示意图,包含一个双聚光镜、电子束推进器、Inlens探测器和Gemini物镜。

高分辨率成像与分析可无缝切换

✔ GeminiSEM 460配备具有双聚光镜的Gemini 2光学系统。 ✔ 连续调整电子束的电流强度,同时优化束斑大小。 ✔ 可在低束流的高分辨率成像与高束流的分析模式之间进行无缝切换。 ✔ 在更改成像参数后无需进行校准,省时省力。
钢的EBSD图。

保持灵活,高效工作

✔ 保持灵活:使用高电子束能量密度在低束流和高束流下进行高分辨率成像和分析,不受您选择的电子束能量影响。 ✔ 样品不会暴露于磁场中:实现了大观察视野内的无失真EBSD图案和高分辨率成像。 ✔ 样品倾斜转动时不影响电子光学系统的性能,磁性样品也能轻松成像。 ✔ 选择适合样品的消荷电模式:局部电荷补偿、腔室内可变压力或NanoVP。  

● Gemini 3

在低于1 kV条件下成像——整合专业知识

Gemini 3光学系统优化了低电压和极低电压下的分辨率并实现了衬度增强,确保从1 kV到30 kV的所有工作条件下成像效果可达高分辨率且包含两个彼此协同运作的组件:Nano-twin物镜和全新的电子光学引擎Smart Autopilot。此外,它还具有高分辨率电子枪模式和可选的样品台减速技术(Tandem decel)。 分辨率模式——让您看到更多细节 通过两种模式可获得SEM图像的更多细节和更多探测信号。在高分辨率电子枪模式下,电子束色差降低,从而实现了更小的束斑;在样品台减速技术模式下,为样品施加减速电压,从而可进一步提高1 kV以下的图像分辨率并增强背散射探测器的检测效率。
Gemini 3镜筒的全新光学设计。GeminiSEM 560的截面示意图。Nano-twin物镜(红色),Smart Autopilot(蓝色)。

Nano-twin物镜的优势:

✔ 在低电压和超低电压下达到亚纳米级分辨率,实现更出色的信号探测效率。 ✔ 与标准Gemini物镜相比,在低电压下的物镜像差降低了三倍,从而使样品上的磁场降低了三倍,约为1 mT。 ✔ 优化几何结构和静电场及磁场分布。 ✔ Inlens探测器在低电压成像条件下的信号得到增强。 ✔ 这些特性提供了在低于1 kV的条件下完成亚纳米级成像的能力,而无需将样品浸入电磁场中。
对焦1秒后自动聚焦的准确度

工作原理:

✔ Smart Autopilot优化了通过镜筒的电子轨迹,从而确保了在每个加速电压下尽可能高的分辨率。 ✔ 该自动功能实现了在整个放大倍率范围内(从1倍到2,000,000倍)的无缝对准自由切换,并将观察视野增加了10倍,从而可以在单幅图像中对13 cm的物体成像。 ✔ 32k×24k的图像存储分辨率与新的概览模式相结合,确保在超大观察视野内获得无拼接的像素密度。
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